سیلیکون ماده ای است که در بیشتر سیستم های الکترو مکانیکی (mems) مورد استفاده قرار می گیرد از اینرو رفتارهای سیلیکون درتماس با اب ، هوا و رطوبت در این تحقیق مورد بررسی شده است .در قسمت اول قدرت شکست سیلیکون در آب بررسی شده وبه کمک AFM و تصاویر ان در مقیاس میکرونی و مقایسه ساختار SI-O-SI ...